製品紹介
静電チャック用直流電源

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静電チャック制御用に開発された
直流高電圧、正負両極出力の電源です。
用途にあわせたご選択が可能です。

外観


CTPS-3KV2AF

CTPS-2KV2AS

CTPS-2KV1AL

主な機能

警報

チャックシステム異常発生時に電源をOFFする安全機能。

対応機種

  • CTPS-3KV2AF
  • CTPS-2KV2AS

デチャックアシスト機能

電源OFF時に静電チャックとワーク間に発生する残留電荷を軽減させる機能。

対応機種

  • CTPS-3KV2AF
  • CTPS-2KV2AS

極性切替機能

安定した把持力を得るため内部電極に印加する電圧極性を切り替える機能。

対応機種

  • CTPS-3KV2AF
  • CTPS-2KV2AS

注意事項

主な仕様

型式 CTPS-3KV2AF CTPS-2KV2AS CTPS-2KV1AL
出力 定格出力:±DC3kV / 2mA
電圧変動率:2%
最大負荷容量:10,000pF
定格出力:±DC2kV / 2mA
電圧変動率:5%
最大負荷容量:10,000pF
定格出力:±DC1.5~2.5kV
(固定:工場出荷時設定)
出力調整範囲 30V~3kV 2V~2kV 工場出荷時電圧固定
電圧表示 MAX 3kV
(+極の出力を表示)
MAX 2kV
(+極の出力を表示)
電流表示 MAX 2mA (+極の出力を表示)
外部スイッチ 電圧設定切替:無電圧接点
電圧設定:0.1V~10V / 30V~3kV
電圧設定切替:無電圧接点
電圧設定:0V~10V / 0~2kV
外部出力 出力動作信号
警報
電圧モニターV+:0.1V~10V
電圧モニター V-:0.1V~10V
電流モニター A+:0.1V~10V
電流モニター A-:0.1V~10V
出力動作信号
警報
電圧モニターV+:0V~2V
電圧モニター V-:0V~2V
警報 過電圧警報
過電流警報
出力電圧不足警報
過電流警報
デチャックアシスト機能 逆電圧印加
ディスチャージ
ディスチャージ
極性切替機能 マニュアル時は前面パネル、
リモート時は極性信号にて制御可能
マニュアル時は前面パネル、
リモート時は極性信号にて制御可能
使用条件 水平
左側ファン排気
使用温度範囲:
0℃~40℃(結露無)
水平
上画面ファン排気
使用温度範囲:
0℃~40℃(結露無)
水平
使用温度範囲:
0℃~40℃(結露無)
入力電源 AC100V DC24V DC24V±20% 300mA以下
外形寸法 W480mm×100mm×D370mm W200mm×102mm×D290mm DC24Vタイプ
W60mm×29mm×D120mm
重量 約8.5kg 約4.5kg 約90g
付属品 電源コード
出力ケーブル
制御用コネクター Dsub25P
取扱説明書
出力ケーブル
制御用コネクター Dsub25P
取扱説明書
取扱説明書

資料ダウンロード

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