製品紹介
ガラス/石英

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静電吸着対象:各種板ガラス

20年前にFPD業界向けにガラス貼り合わせ装置用の静電チャックを開発し、多くの経験と実績を有しております。ガラスや石英は絶縁体のため、静電チャックやガラスへの帯電が問題になりますが、誘電材料や内部電極パターンの工夫により、影響を最小限に抑えることが可能です。試作から量産まで、お気軽にご相談ください。

よくいただくご質問

  1. Q1考えていることが静電チャックで出来るのか検証したい。

    静電チャック及び制御用電源のデモ機を常備しておりますので、お気軽にお問い合わせください。

  2. Q2静電チャックを使用したいが、経験が無く困っている。

    多数の開発経験と実績がございます。静電チャック周辺技術(電源、真空導入端子、ケーブル、給電方法等)を一括でご提案させていただきます。

  3. Q3ガラスの破片が原因で、静電チャックが良く壊れて困っている。

    可能な限り静電チャックへのダメージを軽減できる構造をご提案致します。また、静電チャックが壊れた場合、再生・修理も可能です。

  4. Q4デバイスへの影響を考慮して、可能な限り低電圧で静電チャックを駆動させたい。

    お客様の使用環境に基づき、誘電材質や内部電極パターンを専用設計し、吸着電圧の低電圧化を実現いたします。

  5. Q5電源を切っても、ガラスがなかなか静電チャックから剥がれない。

    静電チャックと電源との組み合わせにより、最適な印加電圧や除電方法をご提案させていただきます。

静電チャック一覧