製品紹介
吸着モニターユニット

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静電チャックと制御電源の間に接続し
静電チャックと対象物の状態を
常時モニタリングすることが可能です。

外観


検出ユニット

用途例

  • 容量変化による対象物の在荷検出
  • 容量値による材質識別
  • 容量値の違いによる裏表確認
  • 静電チャック(ESC)の状態を常時モニタリング

特長

接続イメージ

仕様

外形寸法 W160mm×H85mm×D250mm
※突起物含まず
重量 約900g
検出対象物 Siウエハー、金属箔、各種導電体フィルム
入力電圧 DC 24V
耐電圧 DC±2.0kV(双極型静電チャック)
消費電力 2.4Wtyp
動作温度 0~65℃(結露なし)
デジタル出力 オープンコレクタ(NPN無接点タイプ)
リファレンス電圧 2種類
コネクタ種 電源側:MHV
静電チャック側:MHV

注意事項

参考データ:在荷検出例

静電容量センサは、検出電極(静電チャック内部電極)とその近傍の状況変化を静電容量の変化として検出しています。静電容量検出ユニットにより得られた各状態の静電容量を電圧信号に変換しています。リファレンス電圧を設定し、検出電圧との差を比較することで、特定モードの検出や突発的な不具合検出も可能です。静電容量検出ユニットを用いて、静電チャック上に配置したSiウェハの各状態を検出した結果を以下に示します。

使用機器

電気信号

以下の通り、各状態の静電容量の変化を電気信号に変換しています。

注記事項

資料ダウンロード

各種資料はこちらからダウンロードが可能です。