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各種ウエハー

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静電吸着対象:各種ウエハー

シリコンウエハーをはじめとする各種ウエハー用静電チャックは、20年以上の経験と実績を有しております。お客様の使用環境を丁寧にヒアリングさせていただき、課題解決に向け、静電チャックだけでなく、静電チャックの周辺技術も含めた一括のご提案をいたします。新規開発から既存品の改造(機能向上や寿命延長)等の個別の対応もおこなっております。試作から量産まで、お気軽に御相談ください。

よくいただくご質問

  1. Q1考えていることが静電チャックで出来るのか検証したい。

    静電チャック及び制御用電源のデモ機を常備しておりますので、気軽にお問い合わせください。

  2. Q2静電チャックを使用したいが、経験が無く困っている。

    豊富な開発経験と実績がございます。静電チャック周辺技術(電源、真空導入端子、ケーブル、給電方法、RF重畳、吸着モニター等)を一括でご提案させていただきます。

  3. Q3静電チャック材料の選定に困っている。

    プロセスや用途に合わせた静電チャック材料を選定し、ご提案させていただきます。

  4. Q4ウエハーの温度管理・均熱性管理で困っている。

    冷却構造やヒーター内蔵等、ご要望の温度域や温度プロファイルに合わせたご提案をさせていただきます。

  5. Q5ウエハーのチャック、デチャックが上手く出来ずに困っている。

    静電チャックと電源との組み合わせにより、最適な印加電圧や除電方法をご提案させていただきます。

  6. Q6ウエハー裏面のパーティクルで困っている。

    静電チャック表面材質、仕上げ方法、エンボス化による接触面積の管理等、様々な視点からのアプローチが可能です。

  7. Q7薄いウエハーを大気中で吸着し、そのまま真空プロセスチャンバーに投入したい。

    弊社の静電キャリアをご検討ください。

  8. Q8ウエハーを吸着し、そのまま搬送・ハンドリングしたい。

    弊社の静電キャリアをご検討ください。

静電チャック一覧